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      蒸汽流量計

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      用于PVD應用的經濟型蒸汽流量計的優勢解析

      來源:作者:發表時間:2019-05-16

          那些在太陽能和半導體行業工作的人將熟悉物理氣相沉積(PVD)或濺射,它通常用于在太陽能和半導體工業中在基板上形成材料薄膜。
          在PVD工藝中,帶負電的電極通過分子轟擊緩慢分解。PVD介質通常是氬氣,因為這種氣體產生足夠的動量以從靶中釋放原子。在真空環境中,這些自由靶原子自身沉積在材料表面上并形成所需的涂層或鍍層。
          在PVD過程中,保持指定的氣體質量流量到真空室是至關重要的。通常,真空泵站需要節流閥或節流閥限制裝置來在引入PVD氣體時控制泵的輸出。該方法對壓力極其敏感,可導致氣體輸送效率低,產品質量差。
      插入式牽引器簡化了熱攻絲應用中<a href=http://www.naturalhairgoddesses.com/ target=_blank class=infotextkey>蒸汽流量計</a>的安裝
          PVD在太陽能光伏發電中使用的薄膜制造中存在兩個關鍵挑戰。首先是使用高真空。由于使用的壓降很小,PVD工藝需要對腔室中的絕對壓力相對不敏感的流量控制裝置。這排除了諸如孔板之類的裝置,其需要大的壓力差以有效地操作。
          第二個問題是保持非常精確的氣體質量流量。由于通過PVD工藝沉積的層在許多情況下可以僅是分子厚的,因此需要非常精確的摻雜氣體的輸送方法。
          在Sierra Instruments,我們正在應對這些挑戰并為兩者提供解決方案:蒸汽流量計。儀器自動補償系統壓力(真空泵波動)或氣源壓力損失(氣缸耗盡)的變化。SmartTrak 50為真空室提供精確控制的氣體質量流量,以保持高質量的好終產品。
          無論您是機器制造商,系統集成商還是好終用戶,我們的經濟型蒸汽流量計和質量流量控制器系列都可為各種應用類型提供全面  的流量解決方案組合。

       

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